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在半導(dǎo)體制造業(yè)中，晶圓作為芯片的基礎(chǔ)材料，其表面質(zhì)量直接決定了最終產(chǎn)品的性能和可靠性。隨著技術(shù)的不斷進(jìn)步，晶圓表面缺陷檢測(cè)系統(tǒng)已成為確保產(chǎn)品質(zhì)量的關(guān)鍵環(huán)節(jié)。其中，切割槽的深度與寬度檢測(cè)是評(píng)估晶圓加工精度和完整性的一項(xiàng)重要指標(biāo)。切割槽是在晶圓...
Herz氣浮式被動(dòng)隔振臺(tái)采用了先進(jìn)的減振技術(shù)，其技術(shù)參數(shù)和減振效果如下：Herz氣浮式被動(dòng)隔振臺(tái)技術(shù)參數(shù)：1、減振方式：垂直方向-HERZ減振空氣彈簧，水平方向-Herz高性能水平振動(dòng)隔離系統(tǒng)；2、空氣彈簧數(shù)：4-6；3、阻尼方式：垂直方向通過節(jié)流孔進(jìn)行空氣阻尼，水平方向采用特殊橡膠的高性能阻尼；4、固有頻率：垂直方向約1.3Hz/水平方向約0.6Hz（搭載均等大重量時(shí)）；5、調(diào)平方式：帶有3個(gè)機(jī)械式自動(dòng)調(diào)平傳感器；6、供氣方式：需要外部氣源；7、所需氣壓：0.3～0.7MP...
美國Microsense位移傳感器具有一系列顯著的特點(diǎn)，使其在各種應(yīng)用場(chǎng)合中表現(xiàn)出色。以下是關(guān)于Microsense位移傳感器特點(diǎn)的一些詳細(xì)介紹：1.高準(zhǔn)確性與靈敏性：該傳感器具備高準(zhǔn)確性的測(cè)量能力，其高精度可達(dá)0.5nm，這使得它在需要精確測(cè)量的場(chǎng)合中表現(xiàn)出色。此外，它的高靈敏性也確保了即使在微小的位移變化下，也能產(chǎn)生明顯的信號(hào)響應(yīng)。2.優(yōu)化的近距離測(cè)量：Microsense位移傳感器特別適用于近距離測(cè)量，其測(cè)量距離在10微米到5毫米之間，這使得它在微小物體或結(jié)構(gòu)的位移測(cè)量...
Thetametrisis膜厚儀是一種用于測(cè)量薄膜厚度的儀器，具有精密的測(cè)量功能和廣泛的應(yīng)用范圍。以下是Thetametrisis膜厚儀的特點(diǎn)及工作原理：特點(diǎn)：1.高精度測(cè)量：儀器采用先進(jìn)的光學(xué)技術(shù)和精密的傳感器，能夠?qū)崿F(xiàn)對(duì)薄膜厚度的高精度測(cè)量，通?？梢赃_(dá)到納米級(jí)別的測(cè)量精度。2.快速測(cè)量：它具有快速測(cè)量的特點(diǎn)，可以在短時(shí)間內(nèi)完成對(duì)薄膜厚度的測(cè)量，提高生產(chǎn)效率和檢測(cè)速度。3.非破壞性測(cè)量：儀器采用非接觸式測(cè)量方式，對(duì)被測(cè)樣品幾乎沒有破壞性，適用于對(duì)薄膜進(jìn)行精密測(cè)量和表征。4....
EVG510-晶圓鍵合機(jī)是一種高度靈活的晶圓鍵合系統(tǒng)，可以處理從碎片到200mm的基板尺寸。該工具支持所有常見的晶圓鍵合工藝，例如陽極，玻璃粉，焊料，共晶，瞬態(tài)液相和直接法。易于使用的鍵合腔室和工具設(shè)計(jì)允許對(duì)不同的晶圓尺寸和工藝進(jìn)行快速便捷的重新工具化，轉(zhuǎn)換時(shí)間不到5分鐘。EVG510-晶圓鍵合機(jī)特征：1.壓力和溫度均勻性。2.兼容EVG機(jī)械和光學(xué)對(duì)準(zhǔn)器。3.靈活的設(shè)計(jì)和配置，用于研究和試生產(chǎn)。4.將單芯片形成晶圓。5.各種工藝(共晶，焊料，TLP，直接鍵合)。6.可選的渦輪...
Thetametrisis膜厚儀是一款快速、準(zhǔn)確測(cè)量薄膜表征應(yīng)用的模塊化解決方案，要求的光斑尺寸小到幾個(gè)微米，如微圖案表面，粗糙表面及許多其他表面。它可以配備一臺(tái)計(jì)算機(jī)控制的XY工作臺(tái)，使其快速、方便和準(zhǔn)確地描繪樣品的厚度和光學(xué)特性圖。Thetametrisis膜厚儀利用FR-Mic，通過紫外/可見/近紅外可輕易對(duì)局部區(qū)域薄膜厚度，厚度映射，光學(xué)常數(shù)，反射率，折射率及消光系數(shù)進(jìn)行測(cè)量。Thetametrisis膜厚儀使用優(yōu)勢(shì)：1、實(shí)時(shí)光譜測(cè)量。2、薄膜厚度，光學(xué)特性，非均勻性...
