當(dāng)前位置：首頁(yè) > 技術(shù)文章
在半導(dǎo)體制造業(yè)中，晶圓作為芯片的基礎(chǔ)材料，其表面質(zhì)量直接決定了最終產(chǎn)品的性能和可靠性。隨著技術(shù)的不斷進(jìn)步，晶圓表面缺陷檢測(cè)系統(tǒng)已成為確保產(chǎn)品質(zhì)量的關(guān)鍵環(huán)節(jié)。其中，切割槽的深度與寬度檢測(cè)是評(píng)估晶圓加工精度和完整性的一項(xiàng)重要指標(biāo)。切割槽是在晶圓...
翹曲度，用于表述平面在空間中的彎曲程度，在數(shù)值上被定義為翹曲平面在高度方向上距離最遠(yuǎn)的兩點(diǎn)間的距離。絕對(duì)平面的翹曲度為0。翹曲變形是評(píng)定產(chǎn)品質(zhì)量的重要指標(biāo)之一。對(duì)于相同翹曲影響模式的同一產(chǎn)品時(shí)，這些指標(biāo)可以描述不同設(shè)計(jì)的翹曲變形的大小程度。但對(duì)于不同材料、模具結(jié)構(gòu)等造成翹曲變形的影響模式改變的因素，不同設(shè)計(jì)下各部分的翹曲變形嚴(yán)重程度也隨之改變。美國(guó)FSM高溫薄膜應(yīng)力及翹曲度測(cè)量?jī)x具有哪些特殊功能？1、多重導(dǎo)向銷設(shè)計(jì)，手動(dòng)裝載樣品，有優(yōu)異的重復(fù)性與再現(xiàn)性研究。2、優(yōu)異的分辨率—...
輪廓儀，是一種常用的測(cè)量工具，用于精確復(fù)制和測(cè)量不規(guī)則物體的輪廓形狀。它廣泛應(yīng)用于木工、金屬加工、裝修和模具制造等領(lǐng)域。本文將詳細(xì)介紹輪廓儀的使用方法和注意事項(xiàng)，以幫助讀者更好地掌握這一實(shí)用工具。一、輪廓儀的使用方法1.準(zhǔn)備工作：在使用儀器之前，確保物體表面干凈，無(wú)塵和雜質(zhì)，以免影響測(cè)量結(jié)果。2.調(diào)節(jié)高度：根據(jù)待測(cè)物體的高度，通過(guò)旋鈕將基座調(diào)節(jié)到合適的高度，使針頭能夠接觸到物體表面。3.復(fù)制輪廓：將儀器平放在待測(cè)物體上，確保針頭接觸物體表面，并輕輕滑動(dòng)儀器，使針頭按照物體曲線...
橢偏儀通過(guò)測(cè)量光在介質(zhì)表面反射前后偏振態(tài)變化，獲得材料的光學(xué)常數(shù)和結(jié)構(gòu)信息，具有測(cè)量精度高、非接觸、無(wú)破壞且不需要真空等優(yōu)點(diǎn)。橢偏儀的選購(gòu)指南：1、根據(jù)研究或測(cè)試的材料特性來(lái)確定光譜范圍，進(jìn)一步選擇適合光源的橢偏儀。對(duì)于透明材料，考慮關(guān)心的折射率光譜區(qū)域;對(duì)于短波吸收、長(zhǎng)波透明材料，如果關(guān)心吸收區(qū)域折射率及膜厚可擴(kuò)展到紅外透明區(qū)域來(lái)先確定薄膜厚度，然后求解折射率。2、入射角方式選擇。橢偏儀多角度測(cè)量可以增加可靠性，但不是總有必要。多角度Z適用于以下幾種場(chǎng)合：多層膜結(jié)構(gòu)、吸收膜...
橢偏儀/橢圓偏振儀是一種用于探測(cè)薄膜厚度、光學(xué)常數(shù)以及材料微結(jié)構(gòu)的光學(xué)測(cè)量?jī)x器?，F(xiàn)在已被廣泛應(yīng)用于材料、物理、化學(xué)、生物、醫(yī)藥等領(lǐng)域的研究、開(kāi)發(fā)和制造過(guò)程中。基本原理：橢偏儀的原理主要依賴于光的偏振現(xiàn)象。當(dāng)光線通過(guò)某些物質(zhì)時(shí)，其偏振狀態(tài)會(huì)發(fā)生變化。橢偏儀利用這一特性，通過(guò)精確控制入射光的偏振態(tài)，并測(cè)量經(jīng)過(guò)樣品后光的偏振態(tài)變化，進(jìn)而分析樣品的性質(zhì)。橢偏法測(cè)量具有如下特點(diǎn)：1.能測(cè)量很薄的膜（1nm），且精度很高，比干涉法高1-2個(gè)數(shù)量級(jí)。2.是一種無(wú)損測(cè)量，不必特別制備樣品，也...
Filmetrics3D光學(xué)輪廓儀是用于對(duì)各種精密器件表面進(jìn)行納米級(jí)測(cè)量的儀器，它是以白光干涉技術(shù)為原理，光源發(fā)出的光經(jīng)過(guò)擴(kuò)束準(zhǔn)直后經(jīng)分光棱鏡后分成兩束，一束經(jīng)被測(cè)表面反射回來(lái)，另外一束光經(jīng)參考鏡反射，兩束反射光最終匯聚并發(fā)生干涉，顯微鏡將被測(cè)表面的形貌特征轉(zhuǎn)化為干涉條紋信號(hào)，通過(guò)測(cè)量干涉條紋的變化來(lái)測(cè)量表面三維形貌。Filmetrics3D光學(xué)輪廓儀具有3倍於于其成本儀器的次納米級(jí)垂直分辨率，Profilm3D同樣使用了現(xiàn)今高分辨率之光學(xué)輪廓儀的測(cè)量技術(shù)包含垂直掃描干涉（V...
