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晶圓表面缺陷檢測系統(tǒng)中的切割槽深度與寬度檢測技術(shù)
2024-12-18

在半導(dǎo)體制造業(yè)中,晶圓作為芯片的基礎(chǔ)材料,其表面質(zhì)量直接決定了最終產(chǎn)品的性能和可靠性。隨著技術(shù)的不斷進步,晶圓表面缺陷檢測系統(tǒng)已成為確保產(chǎn)品質(zhì)量的關(guān)鍵環(huán)節(jié)。其中,切割槽的深度與寬度檢測是評估晶圓加工精度和完整性的一項重要指標。切割槽是在晶圓...

  • 2022-03-28

    三維形貌儀是利用光學(xué)干涉原理研制開發(fā)的超精密表面輪廓測量儀器。照明光束經(jīng)半反半透分光鏡分成兩束光,分別投射到樣品表面和參考鏡表面。從兩個表面反射的兩束光再次通過分光鏡后合成一束光,并由成像系統(tǒng)在CCD相機感光面形成兩個疊加的像。由于兩束光相互干涉,在CCD相機感光面會觀察到明暗相間的干涉條紋。干涉條紋的亮度取決于兩束光的光程差,根據(jù)白光干涉條紋明暗度以及干涉條文出現(xiàn)的位置解析出被測樣品的相對高度。本產(chǎn)品適用于各種產(chǎn)品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波紋度、面形輪廓、表面缺陷...

  • 2022-03-21

    硬化涂層膜厚儀是一種便攜式雙基(鐵、鋁)測量儀,它能快速、無損傷、精密地進行涂、鍍層厚度的測量。既可用于實驗室中的精密測量,也可用于工程現(xiàn)場廣泛地應(yīng)用在金屬制造業(yè)、化工業(yè)、航空航天、科研開發(fā)等領(lǐng)域,是企業(yè)保證產(chǎn)品質(zhì)量、商檢測控*的檢測儀器。測量原理:硬化涂層膜厚儀采用了磁性和渦流兩種測厚方法,可無損地測量磁性金屬基體(如鋼、鐵、合金和硬磁性鋼等)上非磁性覆蓋層的厚度(如鋁、鉻、銅、琺瑯、橡膠、油漆等)及非磁性金屬基體(如銅、鋁、鋅、錫等)上非導(dǎo)電覆蓋層的厚度(如:琺瑯、橡膠、...

  • 2022-03-18

    翹曲度測量儀適用于普通測量工具無法測量的領(lǐng)埔,如尺寸微小的鐘表、彈簧、橡膠、礦石珠寶、半導(dǎo)體、五金、模具、電子行業(yè)、精細加工、不規(guī)則工件等到進行測量。還可以繪制簡單的圖形,繪制測量畸形、復(fù)雜和零件重疊等不規(guī)則的工件,檢查零件的表面糙度和檢查復(fù)雜的電路板線路。產(chǎn)品功能:新建文件、打開文件、保存文件、設(shè)定比例尺、系統(tǒng)校正、測量角度、測量線段長度、測量距離,測量原弧及兩個圓偏心、畫線、圓、弧及線段之垂直線,水平線,修改線段、標注尺寸、自動檢測、自動尋邊,可將當前影像拍下,以圖片格式...

  • 2022-03-14

    硅片厚度測量儀采用的這種紅外干涉技術(shù)具有*優(yōu)勢,諸多材料例如,Si,GaAs,InP,SiC,玻璃,石英以及其他聚合物在紅外光束下都是透明的,非常容易測量,標準的測量空間分辨率可達50微米,更小的測量點也可以做到。測試原理:硅片厚度測量儀采用機械接觸式測量原理,截取一定尺寸的式樣;通過控制面板按鈕,調(diào)節(jié)測量頭降落于式樣之上;依靠兩個接觸面產(chǎn)生的壓力和兩接觸面積通過傳感器測得的數(shù)值測量材料的厚度。產(chǎn)品特點:1、硅片厚度測量儀支持自動和手動兩種測量模式,方便用戶自由選擇。2、配置...

  • 2022-03-07

    自動化厚度測量儀是采用新的高性能、低功耗微處理器技術(shù),基于超聲波測量原理,可以測量金屬及其它多種材料的厚度,并可以對材料的聲速進行測量。自動化厚度測量儀按超聲波脈沖反射原理設(shè)計的測厚儀可對各種板材和各種加工零件作精確測量,也可以對生產(chǎn)設(shè)備中各種管道和壓力容器進行監(jiān)測,監(jiān)測它們在使用過程中受腐蝕后的減薄程度。可廣泛應(yīng)用于石油、化工、冶金、造船、航空、航天等各個領(lǐng)域。產(chǎn)品特點:1、快速編程友善的軟件界面,PCB全板掃描,縮略圖導(dǎo)航;2、*自動測量自動走位、自動對焦、自動測量錫膏厚...

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