此次合作涉及EVG專有的SmartNIL ®工藝和SCHOTT RealView™高折射率玻璃晶圓，將在EVG位于奧地利總部的NILPhotonics®能力中心進(jìn)行。SCHOTT將于9月4日至7日在深圳會(huì)展中心舉行的中國(guó)國(guó)際光電博覽會(huì)上展示一款采用EVG SmartNIL技術(shù)制成圖案的300毫米SCHOTT RealView™玻璃晶圓。

SCHOTT增強(qiáng)現(xiàn)實(shí)技術(shù)負(fù)責(zé)人Ruediger Sprengard博士表示：“將高折射率玻璃晶圓的制造擴(kuò)展到 300 毫米，對(duì)于實(shí)現(xiàn)規(guī)模經(jīng)濟(jì)至關(guān)重要，我們的客戶需要滿足當(dāng)今和未來(lái)領(lǐng)仙的AR / MR設(shè)備不斷增長(zhǎng)的市場(chǎng)需求。"通過(guò)雙方的共同努力，EVG和SCHOTT展示了300毫米HRI玻璃制造所需的設(shè)備和供應(yīng)鏈準(zhǔn)備情況。"

到目前為止，使用納米壓印技術(shù)對(duì)具有光子學(xué)應(yīng)用結(jié)構(gòu)的玻璃基板進(jìn)行圖案化處理僅限于200毫米基板。向300毫米晶圓加工的過(guò)渡是AR / MR頭戴設(shè)備耳機(jī)進(jìn)入大眾消費(fèi)市場(chǎng)和工業(yè)市場(chǎng)的重要一步。然而，在這些較大的基板上保持基板的高質(zhì)量和工藝均勻性是很難控制的事情，需要先進(jìn)的自動(dòng)化和工藝控制能力。EVG的SmartNIL技術(shù)是多年研究、開(kāi)發(fā)和實(shí)驗(yàn)的結(jié)晶，旨在滿足納米圖案化的需求，并已被實(shí)踐證明可輕松從芯片級(jí)樣品尺寸一直擴(kuò)展到大面積基板。今年6月，EVG推出了HERCULES NIL 300 mm，將SmartNIL引入300毫米制造領(lǐng)域，支持各種器件和應(yīng)用的生產(chǎn)需求，包括用于AR、MR和虛擬現(xiàn)實(shí)（VR）耳機(jī)頭戴設(shè)備的光學(xué)器件，以及3D傳感器、生物醫(yī)療器件、納米光子學(xué)和等離子體。

“EVG的NILPhotonics能力中心成立于2014年，為NIL供應(yīng)鏈中的各種合作伙伴和公司提供了一個(gè)開(kāi)放式創(chuàng)新孵化器，從而縮短創(chuàng)新型光子器件和應(yīng)用的開(kāi)發(fā)周期和上市時(shí)間，“ EVG企業(yè)技術(shù)開(kāi)發(fā)和知識(shí)產(chǎn)權(quán)總監(jiān)Markus Wimplinger表示，“我們很高興與SCHOTT公司合作，展示EVG納米壓印解決方案的價(jià)值，不僅可以促進(jìn)新技術(shù)和新工藝的開(kāi)發(fā)，還可以加快其進(jìn)入大眾市場(chǎng)的速度。我們與SCHOTT合作開(kāi)展的工作證明了納米壓印設(shè)備和工藝的成熟度，并為各種令人興奮的基于光子學(xué)的新產(chǎn)品和應(yīng)用的300毫米制造奠定了基礎(chǔ)。"

SCHOTT RealView™高折射率玻璃晶圓是領(lǐng)仙的AR / MR器件的關(guān)鍵組件，已經(jīng)實(shí)現(xiàn)了批量生產(chǎn)。產(chǎn)品組合提供了高達(dá)1.9的折射率，支持深度沉浸式AR / MR應(yīng)用，視野更加寬廣，可達(dá)65度。在與AR硬件制造商合作研發(fā)多年后，SCHOTT于2018年推出了第一代SCHOTT RealView™。上市僅一年，這款產(chǎn)品就榮獲了久負(fù)盛名的2019年SID顯示行業(yè)大獎(jiǎng)（SID Display Industry Award 2019）。

關(guān)于SCHOTT

SCHOTT是特種玻璃、微晶玻璃和相關(guān)高科技材料領(lǐng)域的國(guó)際領(lǐng)仙技術(shù)集團(tuán)。公司擁有130多年的經(jīng)驗(yàn)，是眾多行業(yè)的創(chuàng)新合作伙伴，其中包括家用電器、制藥、電子、光學(xué)、生命科學(xué)、汽車和航空業(yè)。SCHOTT在全球34個(gè)國(guó)家設(shè)有生產(chǎn)基地和銷售辦事處。集團(tuán)目前擁有員工超過(guò)15,500名，2017/2018財(cái)年的銷售額為20.8億歐元。總部位于德國(guó)美因茨的母公司SCHOTT AG，由卡爾蔡司基金會(huì)（Carl Zeiss Foundation）全資擁有?？柌趟净饡?huì)是德國(guó)歷史最悠久的私立基金會(huì)之一，作為一家基金會(huì)公司，SCHOTT對(duì)員工、社會(huì)和環(huán)境負(fù)有特殊責(zé)任。

關(guān)于EVG

EV Group (EVG) 是為半導(dǎo)體、微機(jī)電系統(tǒng) (MEMS)、化合物半導(dǎo)體、功率器件和納米器件制造提供大批量生產(chǎn)設(shè)備和工藝解決方案的領(lǐng)仙供應(yīng)商。主要產(chǎn)品包括晶圓鍵合、薄晶圓加工和光刻/光刻納米壓印 (NIL) 設(shè)備，光刻膠涂布機(jī)，以及清潔和檢測(cè)/計(jì)量系統(tǒng)。EVG 成立于 1980 年，為全球各地的客戶和合作伙伴提供服務(wù)和支持。