白光干涉儀能夠在同一測試平臺上運行多種測試,產品的組合可根據不同的技術應用要求而改變。針對樣品的同一區(qū)域可進行不同模式的實驗檢測,模式切換可實現全自動化。多項技術的整合能夠使不同技術在同一檢測儀上充分發(fā)揮各自的優(yōu)勢。該項整合技術不僅有利于數據的綜合分析,也可以減少維護成本,從而提高效率。
白光干涉儀的測量應用:
以測量單刻線臺階為倒,在檢查儀器的各線路接頭都準確插到對應插孔后,開啟儀器電源開關,啟動計算機,將單刻線臺階工件放置在載物臺中間位置,先手動調整載物臺大概位置,對準白光干涉儀目鏡的下方。
在計算機上打開白光干涉儀測量軟件,在軟件界面上設置好目鏡下行的最小點,再微調鏡頭與被測單刻線臺階表面的距離,調整到計算機屏幕上可以看到兩到三條干涉條紋為佳,此時設置好要掃描的距離。按開始按鈕,白光干涉儀可自動進行掃描測量,測量完成后,轉件自動生成3D圖像,測量人員可以對3D圖像進行數據分析,獲得被測器件表面線、面粗糙度和輪廓的2D、3D參數。
白光干涉儀具有測量精度高、操作便捷、功能全面、測量參數涵蓋面廣的優(yōu)點,測量單個精密器件的過程用時2分鐘以內,確保了高款率檢測。白光干涉儀*的特殊光源模式,可以廣泛適用于從光滑到粗糙等各種精密器件表面的測量。
白光干涉儀由以下及部分構成:
光學照明系統(tǒng) ,采用鹵素光源,其中心波長為576納米,光譜范圍從340納米到780納米。光學成像系統(tǒng) 采用無限遠光學成像系統(tǒng),由顯微物鏡和成像目鏡組成。垂直掃描控制系統(tǒng) 由壓電陶瓷以及控制驅動器構成,采用閉環(huán)反饋控制方法,可精密驅動顯微物鏡上下移動,移動范圍100mm。位置移動精度為0.1納米。信號處理系統(tǒng) 信號處理系統(tǒng)是該儀器的核心部分,由計算機和數字信號協(xié)處理器構成。利用計算機采集一系列原始圖像數據。然后使用專用的數字信號協(xié)處理器完成數據解析作業(yè)。應用軟件 應用軟件主要由操作控制部分,結果顯示部分以及后處理部分組成。主要用于操作控制表面形狀測量儀器。同時,以三維立體,二維平面以及斷面分布曲線方式顯示實時測量結果。并可對測量結果作進一步的修正處理。